真空炉热调试注意事项

1）当烤箱的真空度不小于13.3 pa时，在烤箱温度缓慢升至1300°C的整个过程中，烤箱的真空度应不小于13.3 PA。完全烘烤和脱气后，压力升高率可以达到技术要求。

2）极限真空度：不小于6 x 1.0-4Pa。

3）工作真空度：不小于2.7Pa（在1000炉膛下）。

4）升压速率测量：将真空炉加热到1200℃，充分烘烤并脱气后，将炉温冷却至100℃以下，升压速率应达到0.5Pa / h。

5）充气体调试：当冷却室的真空度为1.33Pa时，关闭真空隔热层和冷却室的真空阀，立即向冷却室真空炉内充入0.06MPa的氮气，时间应为2.5 （秒），并且加热室的真空度不得小于670Pa。

真空炉

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