威途 VTS 系列真空烧结炉量产下线国产高端烧结装备实现关键跨越

一、行业背景：高端材料制造呼唤烧结革新，真空烧结成核心刚需

在航空航天、半导体、新能源、硬质合金、先进陶瓷等高端制造领域，真空烧结是决定材料致密度、微观结构与最终性能的 “临门一脚”。它通过在高真空、高温环境下，让粉末或坯体发生颗粒结合、致密化与晶粒生长，最终形成具有优异力学、电学、热学性能的固态构件。

传统常压烧结、气氛烧结因无法彻底隔绝氧气与杂质，极易导致材料氧化、脱碳、成分偏析、气孔残留等问题，严重影响产品强度、韧性、导电性与可靠性。对于高温合金、硬质合金、SiC 陶瓷、半导体靶材、金属基复合材料等高端材料，传统工艺已无法满足 “高致密度、高纯度、高精度、高一致性” 的严苛要求。

据行业数据，2025 年中国真空烧结炉市场规模突破86.5 亿元，同比增长15.2%，预计 2026 年将达100 亿元，年复合增长率超14.5%。市场增长核心驱动力来自：

航空航天与军工：对高温合金、钛合金、陶瓷基复合材料的轻量化、高强度需求；
半导体与新能源：SiC/GaN 功率器件、晶圆载具、燃料电池部件对高纯、无缺陷烧结的刚性需求；
硬质合金与工具：高端刀具、模具对高硬度、高韧性、长寿命的极致追求；
国家战略：“制造强国” 与 “材料自主” 战略推动高端装备国产替代加速。

在此背景下，南京威途真空技术有限公司（以下简称 “威途真空”）深耕真空烧结装备研发十余年，于 2026 年 7 月正式发布VTS 系列新一代智能真空烧结炉并实现规模化量产，首批设备已交付航空航天、半导体、硬质合金等领域头部客户，标志着我国在高端真空烧结装备领域实现从 “跟跑” 到 “并跑” 的关键跨越。

二、技术突破：VTS 系列真空烧结炉的核心创新

威途 VTS 系列真空烧结炉针对传统设备痛点，从真空系统、热场设计、温控精度、气氛控制、智能管控五大维度实现全面革新，核心技术指标达到国际先进水平。

1. 超高真空洁净系统：从源头杜绝污染

极限真空度：采用多级分子泵 + 罗茨泵 + 旋片泵协同技术，极限真空度达10⁻⁵Pa（超高纯型可达10⁻⁶Pa），彻底隔绝氧气、水汽与杂质，实现无氧化、无脱碳、无杂质的高纯烧结南京威途真...。
真空稳定性：压升率控制在0.3Pa/h以内，确保炉内环境长期稳定，满足 AMS2750F、半导体 SEMI 等国际严苛标准。
工艺价值：烧结后材料纯度提升 99.99%，致密度达 99.5% 以上，表面无氧化层、无气孔，无需后续酸洗、抛光，完美适配卫生级、高精度零部件需求。

2. 高密度石墨热场：极致均匀与高温耐受

热场设计：采用高密度石墨毡 + 多层复合隔热层 + 立体辐射加热结构，最高工作温度达1600℃（钼加热型可达2200℃），热场均匀性控制在±5℃以内，确保大型工件、多批次烧结一致性南京威途真...。
发热材料：标配高纯石墨加热器，可选钼 / 钨加热器，满足不同温度区间与材料特性需求。
节能优势：热损失降低45%，能耗较传统设备降低35% 以上，单炉烧结周期缩短25%。

3. 多区独立智能温控：±0.5℃极致精度

控温系统：搭载自研多区独立 PID 闭环控温系统，配合高精度铂铑 / 钨铼热电偶，控温精度达±0.5℃，升温速率可编程（最高200℃/min），保温阶段稳定性±1℃。
曲线控制：支持100 组 + 工艺曲线存储，可自定义升温、保温、降温、气氛切换全流程，适配多样化烧结工艺。
安全保障：具备超温、超压、断水、断电自动保护，确保设备与工件安全。

4. 多功能气氛控制系统：适配复杂工艺需求

气氛切换：支持高纯氩气、氮气、氢气、分解氨等多种气氛自由切换，可实现真空烧结、气氛烧结、还原烧结、共晶烧结等多功能工艺。
压力控制：配备高精度压力调节阀，支持微正压、负压、变压烧结，精准控制材料致密化过程。
** dewaxing 集成：可选真空脱蜡 - 烧结一体化 ** 模块，实现脱脂、烧结连续作业，简化流程、提升效率。

5. 工业互联网 + 数字孪生：全流程智能管控

智能控制：搭载PLC + 触摸屏 + 工业物联网系统，实时监控真空度、温度、压力、气氛流量、能耗等参数，支持远程监控、故障诊断、工艺追溯南京威途真...。
数字孪生：内置数字孪生模型，可模拟优化工艺参数、预测设备寿命、实现预防性维护，设备利用率提升至88% 以上。
数据驱动：通过学习历史工艺数据，为新材料开发推荐最优烧结方案，将传统经验式工艺推向科学化、精准化。

三、核心型号与参数：覆盖全场景需求

威途 VTS 系列提供标准化 + 定制化双重方案，核心型号参数如下（部分）：

表格：

型号	有效区尺寸 (mm)	装炉量 (kg)	最高温度 (℃)	控温精度 (℃)	极限真空度 (Pa)	气氛类型
VTS-335	300×300×450	80	1600/2200	±0.5	10⁻⁵	真空 / 氩气 / 氮气
VTS-446	400×400×600	150	1600/2200	±0.5	10⁻⁵	真空 / 氩气 / 氮气
VTS-669	600×600×900	400	1600/2200	±0.5	10⁻⁵	真空 / 氩气 / 氮气 / 氢气
VTS-8813	800×800×1300	700	1600/2200	±0.5	10⁻⁶	真空 / 氩气 / 氮气 / 氢气

注：可根据客户需求定制超大尺寸、超高真空、多室组合、热压烧结等特殊型号。

四、量产落地：首批交付头部客户，市场反响热烈

2026 年 7 月，威途真空位于南京的智能制造基地正式启动 VTS 系列规模化量产，月产能达15 台，可满足年150 台以上市场需求。首批12 台设备已完成交付，客户涵盖：

航空航天：某航空材料研究院，用于高温合金、钛合金结构件烧结；
半导体：某头部晶圆厂，用于SiC 陶瓷载具、静电卡盘烧结；
硬质合金：国内刀具龙头企业，用于硬质合金刀具、模具烧结；
新能源：某燃料电池企业，用于双极板、膜电极组件烧结。

客户反馈显示，采用威途 VTS 系列后，产品合格率从 88% 提升至 99.2%，生产周期缩短 25%，综合成本降低 20%，材料性能与一致性显著提升。

威途真空总经理表示：“VTS 系列量产是公司发展的重要里程碑。我们坚持‘技术自主、品质至上、服务客户’理念，通过持续研发投入，打破国外品牌在高端真空烧结领域的垄断，为中国高端材料制造提供更可靠、更经济的解决方案。”

五、行业意义：推动材料产业链升级，助力国产替代

1. 打破进口垄断，实现高端装备自主可控

长期以来，德国 ALD、日本富士电波、美国 Centorr 等国际品牌占据国内高端真空烧结炉市场70% 以上份额，设备价格高昂（单台超 500 万元）、交付周期长（6-12 个月）、服务响应慢。威途 VTS 系列技术指标达到国际先进水平，价格仅为进口设备的 50%~60%，交付周期缩短60%，为国内企业提供了优质国产替代选择。